拋光盤的平面精度與其精度的保持性決定了平面拋光的精度。因此為了使工件獲得高精-度的加工平面，畢須使用高精-度平面的拋光盤。在拋光高-精度面積較小的平面加工件時，要使用彈性形變小并且能始-終保持平面度的拋光盤。所以在平面拋光盤上涂上一層彈性或軟金屬材料或者是采用特種玻璃作為拋光盤，都可以獲得高精-度的表面質量。

　　在工件材質比較軟時，如光學玻璃等，有時可以使用軟質的拋光盤(如石蠟盤及瀝青盤等)或半軟質的拋光盤(如錫盤等)來獲得高精-度的光滑無-損商表面。使用軟質的拋光盤，拋光后得到的工件表面具有表面粗糙度與講過變質層都很小的優點，但存在不易保存工件平面度的缺點，對工件平面度產生影響。新光-速生產的各-類研磨拋光盤可以得到很-好的表面粗糙度和材料去-除率，生產的各-類合成盤由合成樹脂,金屬材料和其它材料混合加工而成。